一、概况
罗茨真空泵具有二个三叶型转子,通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动,右图为转子在泵腔内旋转120°,完成一次吸、排气的过程。三叶转子采用渐开线型线,转动时互相不接触并保持恒定间隙。可与多种前级泵配套,采用风冷或水冷方式和多种密封形式,满足不同工艺和工况要求。
比传统二叶型罗茨泵在抽气效率、最大允许压差、温升、振动、噪声等关键性能指标上都具有明显的技术优势。三叶转子采用高精度齿轮传动和精密轴承支承,噪声低、运转更加平稳,在低入口压力下仍具有较大抽气速率。
二、主要特点
●转速高、容积率高、温升低、振动小。
●结构简单、可靠性好,操作、维护方便。
●转子被锁紧,无轴向串动现象、故障率更低。
●所有平面静密封采用O型圈密封,可以反复拆装。
●主轴采用机械密封,确保泵腔无油和长期无泄漏。
●端盖密封可采用机械密封、骨架、活塞环和迷宫密封等多种形式。
三、应用范围
三叶罗茨真空泵不能单独使用,必须与前级真空泵配套组成真空机组使用,配置不同类别的前级泵后,罗茨真空泵各项性能指标会有所不同。罗茨真空泵主要应用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系统,例如真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干噪、真空蒸馏。
四、规格参数
型号 抽气速率 极限压力 允许压差 配用功率 转速 进气口 排气口 总重 推荐前级泵
(L/S) (pa) (pa) (Kw) (rpm) (mm) (mm) (kg)
PYL-150 150 ≤0.05 ≥1.2×104 3 2900 100 80 198 2x-30
注:上表各性能是在配用推荐前级泵的条件下获得的,若视情况选用不同的前级泵,其主要性能指标会有所变化。抽气速率系指在配用推荐前级泵的条件下,罗茨真空泵的入口压力在67pa~2.67pa范围内所测得的最大抽气速率。极限压力系指在配用推荐前级泵的条件下,不带任何附加容器、泵口密闭不进气,经过充分抽气后用压缩式真空计在泵进气口处测得的稳定的空气分压力的最低值。
一、概况
干式螺杆真空泵,是利用一对旋向相反的螺杆转子,在泵壳中作同步高速啮合旋转运动,产生吸气和排气作用的抽气设备。采用免维护设计技术解决了真空泵维护麻烦和费用高的问题。真空泵工作腔内无需润滑油和密封液,可回收各类可凝性气体,解决了蒸汽喷射泵、滑阀泵、旋片泵、液环泵等可能对真空系统造成的污染和对环境造成的污染问题,同时回收物还能创造附加经济效益。
二、主要特点
●单级设计可以获得5Pa的高真空,从大气到极限真空可连续长期运行。
●单级设计能够轻易排出固体废物,并去除泵内残余物。
●螺杆材质为整体式球墨铸铁强度高、可靠性好。
●螺杆转子间无接触无摩擦,转速高且平稳。
●噪声振动低,适用于微电子、半导体等安静环境。
●泵腔无油结构设计,无废气、无废液排放,特别环保节能。
●具有特种涂层的螺杆转子和泵腔,可以抽除可凝气体,有毒有害气体。
●内部零件可进行防腐涂层处理,可适用于化工制药行业的特殊要求。
四、剖面图
① 进气口
② 排气口
③ 冷却水腔
④ 螺杆
⑤ 油箱
⑥ 气体通道
⑦ 同步齿轮
⑧ 轴承
⑨ 机械密封
⑩ 骨架油封