真空镀膜技术中常见的真空泵,真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支,它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。
真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相堆积法。假如从真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理、化学性能的话,这一技术又是真空外表处置技术中的重要组成局部。现就其几个主要应用方面做一简单引见。首先在光学方面,一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射资料,也能够作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都很需求。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。
在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。各种范围的继承电路。包括存贮器、运算器、通知逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和维护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。